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潔凈室純化水與高純水設(shè)計要求：（1） 純化水處理設(shè)備的安裝除應(yīng)符合設(shè)計要求外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電子級水》GB 11446.1等有關(guān)規(guī)定。 （2） 純化水處理流程工藝布置與安裝方式應(yīng)合理、安全、...
潔凈室給水排水系統(tǒng)設(shè)計要求：1. 污染區(qū)域特別是微生物污染區(qū)域內(nèi)的供水管，不得與用水設(shè)備直接相連，必須有空氣隔斷，配水口應(yīng)高出用水設(shè)備溢出水位，間隔不應(yīng)小于2.5倍出水口口徑。在供水點和供水管路上均應(yīng)...
潔凈室氣體系統(tǒng)分項驗收要求:（1） 各種成品應(yīng)有產(chǎn)品合格證，材料應(yīng)有質(zhì)量證明文件。 （2） 實際使用的管道材料和規(guī)格應(yīng)符合設(shè)計要求。...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)吹除和供給裝置要求:1. 氣體管道各項試驗合格后，應(yīng)使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮氣吹除管內(nèi)污物，吹除氣流流速應(yīng)大于20m／s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)強(qiáng)度試驗要求:1. 可燃?xì)怏w和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應(yīng)逐個進(jìn)行強(qiáng)度和嚴(yán)密性試驗。管路系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)對系統(tǒng)進(jìn)行強(qiáng)度試驗。強(qiáng)度試驗應(yīng)采用氣壓試驗，并應(yīng)采取嚴(yán)格的安全措施，不得采用...
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