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潔凈室氣密性要求

發(fā)布時(shí)間:2022-06-06 16:41人氣:

潔凈室氣密性要求如下:

      當(dāng)對(duì)潔凈室的嚴(yán)密性有特殊要求時(shí),可測(cè)其圍護(hù)結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性。圍護(hù)結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性按《潔凈室氣密性檢測(cè)方法》進(jìn)行檢驗(yàn)。檢驗(yàn)結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。當(dāng)設(shè)計(jì)無(wú)明確要求時(shí),可在以下兩表的任何一種評(píng)定方法中任選一種方法,兩表中最大測(cè)試壓力設(shè)定為500Pa。

表1 按壓力半衰期區(qū)分氣密性程度

氣密性程度

壓力半衰期T(測(cè)試壓力衰減到其一半的時(shí)間)(min)

1

≥30

2

≥20

3

≥10

4

≥5

表2 按漏泄率區(qū)分氣密性程度

氣密性程度

前5min內(nèi)每小時(shí)漏泄率α(h-1

1

2

≤ 2.5×10-3

≤ 10-2

3

≤ 5×10-2

4

≤ 10-1

      表2中,  α = Q/V           (1)

      式中:V——被檢潔凈室凈容積(一般情況下該容積可以用室體積代替)(m3);

                Q——檢驗(yàn)壓力下前5min內(nèi)儀表讀出的每小時(shí)漏泄量(m3/h)。

      當(dāng)用壓縮空氣補(bǔ)償時(shí),設(shè)檢驗(yàn)時(shí)溫度不變,流量計(jì)檢測(cè)的Q應(yīng)考慮壓力修正,成為Q1

 公式.jpg

      式中:Q1——修正后用于計(jì)算α的漏泄流量;

                 P——室內(nèi)大氣壓力;

                 P1——壓縮空氣實(shí)際壓力,為表壓與大氣壓之和。


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