一、潔凈室微振檢測方法和要求

1. 應用能滿足檢測精度要求的振動分析計測定。

2. 測點應選在室中心地面和認為有必要測定振動的位置的地面上，以及各壁板表面的中心處。

3. 應分別測出室內(nèi)全部凈化空調(diào)設備正常運轉(zhuǎn)和停止運轉(zhuǎn)兩種情況下縱軸、橫軸和垂直軸三個方向的振幅值。

4. 當對室內(nèi)振動影響作細致確認時，可測室內(nèi)微振。室內(nèi)微振應按附錄E檢驗，縱、橫和垂直三個方向的振幅均應符合設計或相關標準的要求。

二、潔凈室表面導靜電性能檢測方法和要求

1. 地面、墻面和工作臺面等表面導靜電性能的檢測環(huán)境溫度應在15℃～35℃之間，相對濕度在45％～70％。

2. 地面、墻面和工作臺面等表面導靜電性能應采用符合精度要求的高阻計檢測。

3. 在表面上人活動區(qū)域選定的一組2點間或幾組2點間檢測，可選用圖E.9.3的測試裝置。

4. 當對室內(nèi)表面導靜電性能作細致確認時，可測表面導靜電性能。表面導靜電性能應按附錄E檢驗，表面電阻值和漏泄電阻值應符合被測對象的靜電控制標準的要求。沒有控制標準時，表面電阻值應為1.0×10⁵Ω～1.0×10¹⁰Ω，其中一級標準應為1.0×10⁵Ω～1.0×10⁷Ω，漏泄電阻值應為1.0×10⁵Ω～1.0×10⁸Ω。