潔凈室微粒計數(shù)濃度檢測方法如下:
1. 室內(nèi)檢測人員應(yīng)控制在最低數(shù)量,不宜超過2人,面積超過100m2又需快速完成測定任務(wù)時,可適當增加人數(shù)。人員必須穿潔凈服,應(yīng)位于測點下風(fēng)側(cè)遠離測點,動作要輕,保持靜止。
2. 0.1μm至5μm微粒的檢測應(yīng)符合以下要求:
(1) 當采用光學(xué)粒子計數(shù)器(OPC)測定0.1μm至5μm的微粒計數(shù)濃度時,應(yīng)按《GB 50591-2010 潔凈室施工及驗收規(guī)范》第16.4.5條第1款給出的公式計算空氣潔凈度級別。粒子計數(shù)器粒徑分辨率應(yīng)小于等于10%,粒徑設(shè)定值的濃度允許誤差應(yīng)為±20%,并應(yīng)按所測粒徑進行標定,符合現(xiàn)行國家標準《塵埃粒子計數(shù)器性能試驗方法》GB/T 6167的規(guī)定。
(2) 測點數(shù)可按式(E.4.2-1)求出:
式中:nmin——最少測點數(shù)(小數(shù)一律進位為整數(shù));
A——被測對象的面積(㎡);對于非單向流潔凈室,指房間面積;對于單向流潔凈室,指垂直于氣流的房間截面積;對于局部單向流潔凈區(qū),指送風(fēng)面積。
測點數(shù)也可按表2-1選用。
表2-1 測點數(shù)選用表
面積(㎡) | 潔凈度 | |||
5級及高于5級 | 6級 | 7級 | 8~9級 | |
<10 | 2~3 | 2 | 2 | 2 |
10 | 4 | 3 | 2 | 2 |
20 | 8 | 6 | 2 | 2 |
40 100 | 16 40 | 13 | 4 | 2 |
32 | 10 | 3 | ||
200 | 80 | 63 | 20 | 6 |
400 | 160 | 126 | 40 | 13 |
1000 | 400 | 316 | 100 | 32 |
2000 | 800 | 623 | 200 | 63 |
(3) 每一受控環(huán)境的采樣點不宜少于3點。對于潔凈度5級及優(yōu)于5級以上的潔凈室,應(yīng)適當增加采樣點,并得到用戶(建設(shè)方)同意并記錄在案。
(4) 采樣點應(yīng)均勻分布于潔凈室或潔凈區(qū)的整個面積內(nèi),并位于工作區(qū)高度(取距地0.8m,或根據(jù)工藝協(xié)商確定),當工作區(qū)分布于不同高度時,可以有1個以上測定面。
亂流潔凈室(區(qū))內(nèi)采樣點不得布置在送風(fēng)口正下方。
(5) 如建設(shè)方要求增加采樣點,應(yīng)對其數(shù)目和位置協(xié)商確定。
(6) 每一測點上每次的采樣必須滿足最小采樣量。最小采樣量根據(jù)“非零檢測原則”由下式求出:
式中:濃度下限單位為粒/L。
每次采樣最小采樣量按表2-2選用。
表2-2 最小采樣量
潔凈度等級 | 不同等級下,大于等于所采粒徑的最小采樣量 | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
1級濃度下限/(粒/m3) | 1 | 0.24 | - | -- | - | - |
采樣量/L | 3000 | 12500 | - | - | - | - |
2級濃度下限/(粒/m3) | 10 | 2.4 | 1 | 0.4 | - | - |
采樣量/L | 300 | 1250 | 3000 | 7500 | - | - |
3級濃度下限/(粒/m3) | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - |
采樣量/L | 30 | 125 | 294 | 750 | - | 一 |
4級濃度下限/(粒/m3) | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - |
采樣量/L | 3 | 12.7 | 29.4 | 86 | 375 | - |
5級濃度下限/(粒/m3) | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | - |
采樣量/L | 2 | 2 | 3 | 8.6 | 36 | - |
6級濃度下限/(粒/m3) | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
采樣量/L | 2 | 2 | 2 | 2 | 3.6 | 102 |
續(xù)表2-2
潔凈度等級 | 不同等級下,大于等于所采粒徑的最小采樣量 | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
7級濃度下限/(粒/m3) | - | - | 一 | 35200 | 8320 | 293 |
采樣量/L | - | - | - | 2 | 2 | 10.2 |
8級濃度下限/(粒/m3) | - | - | 一 | 352000 | 83200 | 2930 |
采樣量/L | - | - | - | 2 | 2 | 2 |
9級濃度下限/(粒/m3) | - | - | - | 3520000 | 832000 | 29300 |
采樣量/L | - | - | 一 | 2 | 2 | 2 |
注:表中最小采樣量取到2 L,用2.83 L/min計數(shù)器時,則實際最小采樣量大于2 L。表中最小采樣量大于2.83 L的,可用2.83 L/min計數(shù)器采樣多于1 min,或用28.3 L/min計數(shù)器采樣1 min,余類推。
(7) 每點采樣次數(shù)應(yīng)滿足可連續(xù)記錄下3次穩(wěn)定的相近數(shù)值,3次平均值代表該點數(shù)值。
(8) 當懷疑現(xiàn)場計算出的檢測結(jié)果可能超標時,可增加測點數(shù)。
(9) 測單向流時,采樣頭應(yīng)對準氣流;測非單向流時,采樣頭一律向上。
(10) 當要求0.1 μm~5 μm微粒在采樣管中的擴散沉積損失和沉降、碰撞沉積損失小于采樣濃度的5%時,水平采樣管長度也應(yīng)符合附錄D.3.6條的規(guī)定。
(11) 若采樣口流速與室內(nèi)氣流速度不相等,其比例應(yīng)在0.3:1~7:1之間。
(12) 當因測定差錯或微粒濃度異常低下(空氣極為潔凈)造成單個非隨機的異常值,并影響計算結(jié)果時,允許將該異常值刪除,但在原始記錄中應(yīng)注明。
每一測定空間只許刪除一次測定值,并且保留的測定值不少于3個。
(13)對于需要很大采樣量、耗時很大的某粒徑微粒的檢測,可采用順序采樣法,即將每次測定結(jié)果標注于圖E.4.2上,當標注點落入不合格區(qū)時,即停止檢測,結(jié)果為不達標;當標注點落入合格區(qū)時,停止檢測,結(jié)果為達標;當標注點一直在繼續(xù)區(qū)中延伸,而總采樣量已達到表2-2的最小采樣量,累計微粒數(shù)仍小于20,即停止檢測,結(jié)果為達標;當標注點一直在繼續(xù)區(qū)中延伸,而總采樣量未達到最小采樣量,但累計微粒數(shù)已超過20,即停止檢測,結(jié)果為不達標。
3. 對小于0.1μm的超微粒的檢測,應(yīng)采用適合這類微粒具體特性的采樣裝置組合使用??刹捎媚Y(jié)核計數(shù)器(CNC或CPC)加靜電式分級器(遷移率分析儀)(DMA)、凝結(jié)核計數(shù)器(CNC或CPC)加擴散式分級器(DB)等,但必須有明確的性能說明書,或有自檢報告,對所測超微粒的最低粒徑的計數(shù)效率應(yīng)達到50%,采樣點數(shù)目應(yīng)與2條對0.1 μm~5 μm的要求相同。
4. 大于5μm的大(宏)微粒的檢測應(yīng)符合下列要求:
(1) 用光學(xué)粒子計數(shù)器檢測時應(yīng)遵守下列規(guī)定:
1)粒子計數(shù)器應(yīng)經(jīng)過大微粒的標定,符合現(xiàn)行國家標準《塵埃粒子計數(shù)器性能試驗方法》GB/T6167的規(guī)定,對潔凈室為6級或優(yōu)于6級的潔凈室的測定,應(yīng)采用不小于28.3L/min的計數(shù)器,對其他級別潔凈室的潔凈度應(yīng)采用不小于2.83L/min的計數(shù)器;
2)當用28.3L/min計數(shù)器時,水平管不應(yīng)長過0.5m,當用2.83L/min計數(shù)器時,原則上不宜有水平管;
3)采樣口面積應(yīng)按等速采樣原則確定,室內(nèi)風(fēng)速取平均風(fēng)速。
(2)用過濾器采集、顯微鏡檢測時,應(yīng)遵守下列規(guī)定:
1)過濾器為孔徑應(yīng)小于等于2μm的濾膜。當過濾器采樣口直徑為25mm時,真空泵采樣流量不小于7L/min,當過濾器采樣口直徑為47mm時,采樣流量不小于28.3L/min。對于非單向流潔凈室,總采樣量不小于28.3L/min,對于單向流潔凈室,總采放量不小于280L/min。
取下濾膜,將濾膜放在清潔的蓋玻片上(圖E.4.4),采樣面向上,放進有50℃左右丙酮蒸汽的燒杯內(nèi)熏蒸。對容積為600mL的燒杯,大約加入15mL丙酮,當做過3次樣片時,再加入15mL丙酮,待濾膜透明后取出,再將蓋玻片反向固定在載物片上(用鋁箔圈或紙圈將蓋玻片與載物片隔開),熏后在蓋玻片四周用膜或蠟封住。
2)計數(shù)時應(yīng)把制好的標本片固定在顯微鏡(100倍)工作臺的適合位置上,一張標本片上計數(shù)總面積不小于0.02×4mm2,在檢測中應(yīng)不斷調(diào)整。
3)測定之前,必須先測出使用的同一批濾膜的基數(shù)密度,最后的計數(shù)濃度由下式得出:
式中:
C0——濾膜基數(shù)密度(粒/mm2);
C1——采樣后計數(shù)的總采樣粒數(shù)(粒);
f0——濾膜有效面積(mm2);
f1——采樣后計數(shù)的總面積(mm2);
q——采樣流量(L/min);
t——采樣時間(min)。