電子工業(yè)潔凈廠房常用氣體系統(tǒng)設計要求如下：

1.常用氣體供應系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態(tài)氣體、瓶裝氣體。

2. 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管。氫氣放散管口應設置阻火器。放散管引至室外，應高出本建筑的屋脊1m，并應采取防雨、防雜物侵人的措施。

3. 氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：

      （1）氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；

      （2）氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內(nèi)。當潔凈廠房設有氣體人口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；

      （3）各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時，也可根據(jù)具體要求分別設置在各自的氣體純化間內(nèi)；

      （4）氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。

4. 進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。

5. 氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規(guī)定：

      （1） 應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施；

      （2） 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥；

      （3） 應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置；

      （4） 應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯(lián)鎖；

      （5） 應設置導除靜電的接地設施。

6. 潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等，應采取下列安全技術措施：

      （1） 管道及閥門、附件應經(jīng)嚴格的脫脂處理；

      （2） 應設置導除靜電的接地設施；

      （3） 氧氣引入管道上應設置自動切斷閥。

7. 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設置在潔凈室（區(qū)）內(nèi)，但應采取不積塵和易于清潔的措施。

8. 氣體管道和閥門應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：

      （1） 氣體純度大于或等于99999999％時，應采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應采用隔膜閥；

      （2） 氣體純度大于或等于99.999％、露點低于-76℃時，宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；

      （3）氣體純度大于或等于99.99％、露點低于-60℃時，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃氣體管道   宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；

      （4）氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

9. 氣體管道連接，應符合下列規(guī)定：

      （1） 管道連接應采用焊接，

      （2） 不銹鋼管應采用氬弧焊，宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊；

      （3） 管道與設備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

      （4） 管道與設備的連接應符合設備連接的要求。當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。