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電子工業(yè)潔凈廠房空氣凈化設(shè)備設(shè)計要求

發(fā)布時間:2022-06-01 17:50人氣:

1. 空氣過濾器的選用和布置應(yīng)符合下列要求:

      (1) 空氣過濾器應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級選用;

      (2) 空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量;

      (3) 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段;

      (4) 高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;

      (5) 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近;

      (6) 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近;

      (7) 對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置;

      (8) 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。

2. 風(fēng)機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:

      (1)應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用;

      (2)應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,

      (3)終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;

      (4)送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié);

      (5)應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強度應(yīng)滿足檢修要求。

3. 層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:

      (1)潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩;

      (2)層流罩的形式和進風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用;

      (3)終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;

      (4)安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。

4. 微環(huán)境裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:

      (1)當(dāng)生產(chǎn)工藝或設(shè)備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求,且所控區(qū)域不大時,宜采用微環(huán)境裝置;

      (2)微環(huán)境裝置宜與生產(chǎn)工藝設(shè)備配套;

      (3)在不影響工藝操作的前提下,應(yīng)具有可靠的密閉性,內(nèi)外表面應(yīng)平整、光滑;

      (4)圍擋構(gòu)造、材料的選用應(yīng)方便生產(chǎn)操作。

5. 干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:

      (1) 安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定;

      (2) 迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負荷、風(fēng)機過濾器機組所提供的機外余壓確定;

      (3) 冷凍水進水溫度,宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的露點溫度;

      (4) 應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。

6. 凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置,應(yīng)符合下列要求:

      (1)應(yīng)有良好的氣密性,漏風(fēng)率不得大于1%;

      (2) 整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強度和剛度,內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑,外表面不應(yīng)結(jié)露;

      (3) 布置應(yīng)整齊,并應(yīng)便于運行和維修;當(dāng)多套空氣處理機組為同一潔凈室(區(qū))服務(wù)時,宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組;

      (4) 送風(fēng)機宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進行選擇。計算系統(tǒng)總阻力時,中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;

      (5) 應(yīng)設(shè)置排水裝置。

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