電子工業(yè)潔凈廠房氣流流型和送風(fēng)量設(shè)計要求
1. 氣流流型的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
（1）氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?～5級時，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流；
（2）潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。
2. 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
3. 潔凈室（區(qū)）所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風(fēng)量和氣流流型，宜按表1計算。
表1 潔凈送風(fēng)量（靜態(tài)）和氣流流型
空氣潔凈度等級 | 氣流流型 | 平均風(fēng)速（m／s） | 換氣次數(shù)（h-1） |
1～5 | 單向流或混合流 | 0.20～0.45 | - |
6 | 非單向流 | - | 50～60 |
7 | 非單向流 | - | 15～25 |
8～9 | 非單向流 | - | 10～15 |
注:（1）換氣次數(shù)適用于層高小于40m的潔凈室。
（2）室內(nèi)人員少、熱源少時，宜采用下限值。
