一、潔凈室型式

1. 潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

2. 電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。

3. 潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。

二、潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào)要求

1. 潔凈廠房的平面布置應(yīng)合理安排潔凈生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和動(dòng)力區(qū),并應(yīng)符合下列要求:

      （1）潔凈室（區(qū)）人員凈化、物料凈化和各種輔助用房，應(yīng)合理分區(qū)布置；

      （2）生產(chǎn)工藝或生產(chǎn)設(shè)備有特殊要求時(shí)，宜分隔為單獨(dú)的房間；

      （3）生產(chǎn)過(guò)程中排放腐蝕性氣體的生產(chǎn)設(shè)備或生產(chǎn)工序應(yīng)分類、集中布置或與其他生產(chǎn)房間分隔；

      （4）發(fā)熱量、發(fā)塵量大的生產(chǎn)工序或生產(chǎn)設(shè)備，宜與空氣潔凈度要求嚴(yán)格的房間分隔布置；

      （5）潔凈室（區(qū)）的輔助設(shè)備、維修間等技術(shù)支持區(qū)，宜集中布置在潔凈室（區(qū)）的相鄰房間，技術(shù)支持區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)低于潔凈室（區(qū)）的等級(jí)；

      （6）若需在潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置潔凈電梯時(shí)，應(yīng)采取氣閘間、潔凈送風(fēng)措施；

      （7）應(yīng)符合有關(guān)防爆、防火、消防等要求。

2. 潔凈室（區(qū)）的空間布置應(yīng)滿足下列要求：

      （1）生產(chǎn)設(shè)備、物料運(yùn)輸系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求布置，并應(yīng)做到有效、靈活和操作方便；

      （2）各類管線的空間布置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、安全間距和維修要求，

      （3）終端高效空氣過(guò)濾器、照明燈具和各種公用動(dòng)力設(shè)施的布置，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、潔凈度等級(jí)、安全生產(chǎn)和維修要求；

      （4）潔凈生產(chǎn)層的高度應(yīng)按生產(chǎn)設(shè)備、微環(huán)境裝置和物料運(yùn)輸設(shè)備的外形尺寸確定。技術(shù)夾層高度應(yīng)根據(jù)具體工程要求確定。

3. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)少分隔，但下列情況應(yīng)予分隔：

      （1）按火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時(shí)，應(yīng)設(shè)隔墻；

      （2）在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段或房間之間；

      （3）生產(chǎn)過(guò)程中排放影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害氣體或化學(xué)污染物的工序、設(shè)備，宜分隔設(shè)獨(dú)立房間。

4. 潔凈廠房的布置應(yīng)綜合協(xié)調(diào)生產(chǎn)操作、設(shè)備安裝和維修、公用動(dòng)力管線、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各類技術(shù)設(shè)施的需要。