1 范圍
GB/T 25915本部分依據(jù)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣中具體化學(xué)物質(zhì)（種、組、類）的 濃度，對(duì)空氣化學(xué)污染（ACC）進(jìn)行分級(jí)。同時(shí)，本部分在分級(jí)技術(shù)要求中，給出了包括檢測(cè)方法、分析方法和時(shí)間加權(quán)系數(shù)在內(nèi)的規(guī)程。
本部分目前只考慮潔凈室運(yùn)行工況下空氣中100 g/m3~10-12 g/m3的化學(xué)污染物濃度。
本部分不涉及那些空氣中雖有化學(xué)物質(zhì)存在、但不認(rèn)為對(duì)產(chǎn)品或工藝有危害風(fēng)險(xiǎn)的行業(yè)、 工藝和生產(chǎn)。
本部分無(wú)意探討空氣化學(xué)污染物的特性。
本部分不包含對(duì)表面化學(xué)污染的分級(jí)。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
3 術(shù)語(yǔ)和定義
GB/T 25915.6-2010/IS014644-6:2007, IDT《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第6部分：詞 匯》中界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
3.1 一般術(shù)語(yǔ)
3.1.1
化學(xué)污染 chemical contamination
危害產(chǎn)品、工藝、設(shè)備的非顆粒物質(zhì)。
3.1.2
按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度 ACC air cleanliness by chemical concentration
以ISO-ACC表示的、按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度的結(jié)果，代表了給定的某種或某組 化學(xué)物種類、以克每立方米為單位的最大允許濃度。
注1：生物大分子歸為粒子，不包含在本定義中。
3.1.3
空氣化學(xué)污染 air chemical contamination
存在于空氣中、其化學(xué)特性可對(duì)產(chǎn)品、工藝、設(shè)備有不良影響的任何物質(zhì)。
3.1.4
按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度 SCC- surface cleanliness by chemical concentration 以化學(xué)物濃度所表示的表面潔凈度狀況。
3.1.5
表面化學(xué)物濃度 surface chemical concentration
存在于表面上、因所具有的化學(xué)特性可對(duì)產(chǎn)品、工藝、設(shè)備有不良影響的任何物質(zhì)。
3.1.6
污染物類別 contaminant category
沉積在關(guān)注表面時(shí)有特定和類似危害結(jié)果的一組化合物的統(tǒng)稱。
3.1.7
釋放氣體 out-assinq
從材料中釋放出氣態(tài)或蒸汽態(tài)分子物質(zhì)。
3.1.8
按化學(xué)物濃度等級(jí)劃分空氣潔凈度（ACC） air cleanliness by chemical concentration（ACC） class
表示某給定的化學(xué)物種類或某組化學(xué)物種類的最大允許濃度的、以克每立方米為單位的分級(jí)數(shù)字。
注1：最大允許濃度規(guī)定見表1,或按4.2節(jié)中的等式標(biāo)定N。
注2：按GB/T 25915/ISO 14644本部分的分級(jí)僅限于0（潔凈度最差）至-12（潔凈度最佳）級(jí)。
注3： ACC等級(jí)數(shù)字只有與規(guī)定了相應(yīng)的化學(xué)物種類或成組化學(xué)物類別的ACC描述符一起使用時(shí)才有效。
注4：空氣化學(xué)物潔凈度級(jí)別負(fù)號(hào)（-1至-12）是ACC等級(jí)數(shù)字N的組成部分，并必須注明。空氣化學(xué)物潔凈度必須有負(fù)號(hào)（0級(jí)除外）。
注5： ISO分級(jí)可以是小數(shù)點(diǎn)后保留1位數(shù)字的非整數(shù)數(shù)字。
3.2 污染物類別
3.2.1
酸 acid
化學(xué)反應(yīng)特性為接受電子對(duì)并建立新化學(xué)鍵的物質(zhì)。
3.2.2
堿 base
化學(xué)反應(yīng)特性為給出電子對(duì)并建立新化學(xué)鍵的物質(zhì)。
3.2.3
生物毒素 biotoxic
危害生物、微生物、生物組織或細(xì)胞個(gè)體生長(zhǎng)與存活的物質(zhì)。
3.2.4
可凝聚物 condensable
可在潔凈室運(yùn)行狀態(tài)下因凝結(jié)而沉積在表面上的物質(zhì)。
3.2.5
腐蝕劑 corrosive
使表面產(chǎn)生破壞性化學(xué)變化的物質(zhì)。
3.2.6
摻雜物 dopant
經(jīng)產(chǎn)品本體吸 收或（和）經(jīng)擴(kuò)散后與本體合為一體，即使為微量亦可改變材料特性的物質(zhì)。
3.2.7
有機(jī)物 organic
以碳為基本元素，含氫，含或不含氧、氮等其他元素的物質(zhì)。
3.2.8
氧化劑 oxidant
沉積在關(guān)注表面或產(chǎn)品上后，形成氧化物（O2/O3）或參與氧化還原反應(yīng)的物質(zhì)。
4 分級(jí)
4.1 概述
應(yīng)按4.2給出的分級(jí)描述符表示分級(jí)。描述符的形式為“ISO-ACC”，它明確了空氣中某類污染物、某種污染物、或某組污染物的最大允許濃度。
4.2 ISO-ACC描述符格式
ACC等級(jí)數(shù)字只有與該等級(jí)所適用的、由ISO-ACC描述符所說(shuō)明的某類污染物、某種污染物、或某組物質(zhì)一起使用時(shí)方為有效。
ISO-ACC描述符的格式為：
ISO-ACCN（X）級(jí)
其中：
x——是某化學(xué)物質(zhì)或一組化學(xué)物質(zhì)，至少包括：
酸（ac）；
堿（ba）；
生物毒素（bt）；
可凝結(jié)物（cd）；
腐蝕物（cr）；
摻雜物（dp）；
有機(jī)物總量（or）；
氧化劑（ox）；
或一組物質(zhì)，或某種物質(zhì)。
N—ISO-ACC等級(jí)，它是濃度Cx的常用對(duì)數(shù)值,其范圍為0 ~ T2, Cx的單位為g/m3。
N可以是小數(shù)點(diǎn)后保留一位數(shù)的非整數(shù)等級(jí)；
N= log10[Cx];
例1：樣本為n-甲基毗咯烷酮（NMP）,空氣污染物所測(cè)值為8E-7g/m3, n=-6,097,處 于-6級(jí)的E-6/m3的等級(jí)限值之內(nèi)。
表述為：ISO-ACC-6 級(jí)[NMP]
例2：樣本為有機(jī)化合物,總有機(jī)化合物（TOC）的實(shí)測(cè)值為6E-5g/m3,處于-4級(jí)lE-4g/m3
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