警告——GB/T 25915的本部分的應(yīng)用可能涉及有害材料、作業(yè)和設(shè)備。GB/T 25915的本部分未提及與應(yīng)用有關(guān)的所有安全性問題。使用前,GB/T 25915本部分的用戶有責(zé)任制定適當(dāng)?shù)陌踩托l(wèi)生 措施，并遵守各種強(qiáng)制性規(guī)定。
1 范圍
GB/T 25915的本部分規(guī)定了潔凈室和潔凈區(qū)空氣懸浮粒子潔凈度等級(jí)的檢測方法，以及潔凈室和潔凈區(qū)性能的檢測方法。性能檢測針對是空態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)3種可能的占用狀態(tài)下的單向流和非單 向流型式潔凈室和潔凈區(qū)。本文件推薦了測定性能參數(shù)用檢測儀器和檢測規(guī)程。.某些檢測方法受限于潔凈室或潔凈區(qū)的類型，為此，本文件推薦了若干替代方法。為了滿足不同用戶的要求,對于某些檢測項(xiàng)目，本文件推薦了幾種不同的方法和儀器。若需方與供方協(xié)商同意，也可以使用本部分未介紹的其他替代方法。替代方法未必給出相同的測量結(jié)果。
本部分不適用于測量潔凈室或隔離裝置內(nèi)的產(chǎn)品或工藝。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 25915.1-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分:空氣潔凈度等級(jí)(ISO 14644-1/999, IDT)
GB/T 25915.2-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分:證明持續(xù)符合GB/T 25915.1的檢測 與監(jiān)測技術(shù)要求(ISO 14644-2：2000, IDT)
GB/T 25915.4—2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第4部分:設(shè)計(jì)、建造、啟動(dòng)(ISO 14644-4：2001 IDT)
ISO 7726:1998 熱環(huán)境人體功效學(xué)物理量測量儀器
3 術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。
3.1 一般術(shù)語
3.1.1
潔凈室 cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式使房間內(nèi)進(jìn)入的、產(chǎn)生的、滯留的粒子最少，房間內(nèi)溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數(shù)按要求受控。
[GB/T 25915.1—2010,2.1.1]
3.1.2
潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的專用空間，其建造和使用方式使區(qū)內(nèi)進(jìn)入的、產(chǎn)生的、滯留的粒子最少，區(qū)內(nèi)溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數(shù)按要求受控。
注：潔凈區(qū)可以是開放的或封閉的;在也可不在潔凈室內(nèi)。
[GB/T 25915.1—2010,2.1.2]
3.1.3
設(shè)施 installation
連同所有建筑結(jié)構(gòu)、空氣處理系統(tǒng)以及服務(wù)、公用系統(tǒng)的潔凈室，或一個(gè)或數(shù)個(gè)這樣的潔凈區(qū)。
注：改寫 GB/T 25915.1—2010,定義 2.1.3。
3.1.4
隔離裝置 separative device
采用構(gòu)造和動(dòng)力學(xué)方法在確定的容積內(nèi)外創(chuàng)建可靠隔離水平的設(shè)備。
注：某些行業(yè)專用隔離裝置有：潔凈風(fēng)罩、隔離箱 ,手套箱、隔離器、微環(huán)境。
3.2 空氣懸浮粒子測
3.2.1
氣溶膠發(fā)生器 aerosol generator
能以加熱、液壓、氣動(dòng)、超聲波、靜電等方式生成濃度恒定、粒徑范圍適當(dāng)?shù)模ɡ?.05 μm?2 μm） 微粒物質(zhì)的器具。
3.2.2
空氣懸浮粒子 airborne particle
懸浮在空氣中、活或非活、固體或液體、粒徑（對GB/T 25915的本部分而言）1 nm?100 μm的粒子。
注：用于潔凈度等級(jí)的，參見GB/T 25915.1—2010,2.2.1。
3.2.3
數(shù)量中值粒徑 count median particle diameter
CMD
按粒徑排列粒子時(shí)，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。
注：占一半數(shù)量的粒子其粒徑小于數(shù)量中值粒徑，占另一半數(shù)量的粒子其粒徑大于該數(shù)量中值粒徑。
3.2.4
大粒子 macroparticle
當(dāng)量直徑大于5 μm的粒子。
[GB/T 25915.1—2010,2.2.6]
3.2.5
M 描述符 M descriptor
每立方米空氣中大粒子的實(shí)測或規(guī)定濃度。M描述符中的當(dāng)量粒徑與測量方法有關(guān)。
注：M描述符可作為采樣點(diǎn)平均濃度上限（或置信上限，該值隨潔凈室或潔凈區(qū)性能測定采樣點(diǎn)數(shù)量而定）。不能 用M描述符規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但可將其單獨(dú)或隨潔凈度等級(jí)引述。
[GB/T 25915.1—2010,2.3.2]
3.2.6
質(zhì)量中值粒徑 mass median particle diameter
MMD
按質(zhì)量排列粒子時(shí)，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。
注：占全部粒子質(zhì)量一半的粒子其粒徑小于質(zhì)量中值粒徑，占另一半質(zhì)量的粒子其粒徑大于該中值粒徑。
3.2.7
粒子濃度 particle concentration
單位體積空氣中粒子的個(gè)數(shù)。
[GB/T 25915.1—2010,2.2.3]
3.2.8
粒徑 particle size
給定的粒徑測量儀器所顯示的、與被測粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐误w直徑。
注：離散粒子計(jì)數(shù)器給出的是當(dāng)量光學(xué)粒徑。
[GB/T 25915.1—2010,2.2.2]
3.2.9
粒徑分布 particle size distribution
粒子按粒徑累計(jì)得出的濃度。
[GB/T 25915.1—2010,2.2.4]
3.2.10
測試氣溶膠 test aerosol
具有已知并受控的粒徑分布及濃度的固體和（或）液體粒子的氣態(tài)懸浮物。
3.2.11
U 描述符 U descriptor
包括超微粒子在內(nèi)的、每立方米空氣粒子的實(shí)測或規(guī)定濃度。
注：U描述符可作為采樣點(diǎn)平均濃度上限（或置信上限，該值隨潔凈室或潔凈區(qū)性能測定采樣點(diǎn)數(shù)量而定）。不能 用U描述符確定空氣潔凈度等級(jí)，但可將其單獨(dú)或隨潔凈度等級(jí)引述。
[GB/T 25915.1—2010,2.3,1]
3.3.12
超微粒子 ultrafine particle
當(dāng)量直徑小于0.1 μm的粒子。
[GB/T 25915.1—2010,2.2.5]
3.3 空氣過濾器和過濾系統(tǒng)
3.4.1
氣溶膠發(fā)塵 aerosol challenge
對過濾器和已裝過濾系統(tǒng)施用檢測氣溶膠的過程。
3.3.2
滲漏限值 designated leak
需方與供方商定的、可用離散粒子計(jì)數(shù)器或氣溶膠光度計(jì)掃描測出的設(shè)施滲漏最大允許透過率。
3.3.3
稀釋裝置 dilution system
按已知容積比將氣溶膠與無粒子稀釋空氣混合，以降低氣溶膠濃度的裝置。
3.3.4
過濾系統(tǒng) filter system
由過濾器、安裝架及其他支撐裝置或箱體組成的系統(tǒng)。
3.3.5
末端過濾器 final filter
空氣進(jìn)入潔凈室之前最末端位置上的過濾器。
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