1 范圍
本文件規(guī)定了監(jiān)測計劃的基本要求。這個監(jiān)測計劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或對其有影響的其他參數(shù)，監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。
本文件適用于粒徑0.1 μm?5 μm粒子濃度的監(jiān)測。
本文件不適用于振動或工程系統(tǒng)一般維護等監(jiān)測。超細粒子（小于0.1 μm的粒子）濃度的監(jiān)測，將在另一個標準中規(guī)定。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
GB/T 25915.1-2021 潔凈室及相關受控環(huán)境 第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級 （ISO 14644-1：2015,MOD）
注：GB/T 25915.1—2021 被引用的內(nèi)容與ISO 14644-1：2015被引用的內(nèi)容沒有技術上的差異。
3 術語和定義
GB/T 25915.1-2021界定的以及下列術語和定義適用于本文件。
3.1
檢測 test
為確定設施或其某個組成部分的性能，按規(guī)定方法實施的程序。
3.2
監(jiān)測 monitoring
為證明設施性能,按規(guī)定的方法和計劃進行的測量。
注1：監(jiān)測可以是連續(xù)的、間歇的或定期的，如是定期的，要規(guī)定頻度。
注2：監(jiān)測信息可用于動態(tài)趨勢的觀察，提供過程支撐。
3.3
干預值 action level
用戶設定的參數(shù)值，當超過該值時，需要立即干預,查明原因并采取糾正措施。
3.4
預警值 alert level
用戶設定的參數(shù)值，偏離正常條件時可給出早期預警。當超過該值時，宜加強關注或采取糾正措施。
4 監(jiān)測計劃的制定、執(zhí)行及持續(xù)改進
4.1 說明
為了確保潔凈室或潔凈區(qū)性能良好、粒子濃度達到控制要求并有良好的空氣潔凈度，應制定、執(zhí)行并持續(xù)改進監(jiān)測計劃。
監(jiān)測計劃應考慮所要求的空氣潔凈度水平、關鍵位置以及對潔凈室和潔凈區(qū)設施性能有影響的因素。在制定、執(zhí)行并持續(xù)改進監(jiān)測計劃時，應包括下列步驟：
——使用適當?shù)娘L險評定方法來了解、評估、記錄不良污染事件的風險；
——制定書面監(jiān)測計劃；
——審核并批準監(jiān)測計劃；
——進行監(jiān)測以執(zhí)行計劃；
——對監(jiān)測活動中獲取的數(shù)據(jù)進行分析，需要時進行趨勢分析并報告潔凈室和潔凈區(qū)的性能；
——實施并記錄采取的措施或糾正措施；
——定期審核監(jiān)測計劃。
按監(jiān)測計劃測出的空氣中粒子濃度，可能高于靜態(tài)測試的濃度。受在場人員數(shù)量、風量、通風效果、儀器或機器運行、相鄰空間活動等因素的影響,測得的數(shù)值可能起伏較大。
對工藝本身就產(chǎn)生粒子、且這些粒子對工藝或產(chǎn)品不形成威脅的，可不監(jiān)測動態(tài)的粒子濃度，而進行定期靜態(tài)分級測試或模擬運行情況的動態(tài)分級測試。其他影響性能和潔凈度的參數(shù)仍可進行監(jiān)測。
4.2 風瞼評估
風險評估是識別出危險并對接觸危險的風險進行分析和評估的系統(tǒng)性過程。
風險評估應實現(xiàn)以下目標：
——確定可能影響潔凈室或潔凈區(qū)保持其空氣潔凈度能力的因素（該潔凈度是按粒子濃度劃分的），從而制定出監(jiān)測計劃；
——確定可證明性能的監(jiān)測要求。
風險評估考慮事項見附錄A。
4.3 監(jiān)測計劃
4.3.1 監(jiān)測計劃應考慮風險評估的結果。
制定監(jiān)測計劃時，應至少包括4.3.2?4.3.13中所述的要素。
4.3.2 列出所有要監(jiān)測的參數(shù)并證明其合理性，包括可能影響空氣中粒子濃度的參數(shù)。
4.3.3 說明測量方法并證明其合理性，對制定監(jiān)測計劃需要考慮的事項見附錄A。
4.3.4 監(jiān)測儀器的準確度、維護、校準。
4.3.5 標識所選監(jiān)測位置并說明合理性。監(jiān)測位置應用三維坐標描述。
4.3.6 對監(jiān)測合格的標準或限值的識別與其合理性，包括設定單個報警值,或設定預警值、干預值兩個報警值，但至少要設定干預值。設定預警值可給出性能偏離的早期預警。預警值、干預值的設置見附 錄B。
4.3.7 數(shù)據(jù)超出規(guī)定限值的應對措施的技術要求。
4.3.8 按GB/T 25915.1—2021中5.1的規(guī)定定期劃分潔凈室或潔凈區(qū)空氣潔凈度（按粒子濃度）的需要與頻度。
以上為標準部分內(nèi)容，如需看標準全文，請到相關授權網(wǎng)站購買標準正版。
