1 范圍

      本文件規(guī)定了按空氣中懸浮粒子濃度劃分潔凈室、潔凈區(qū)、GB/T 25915.7所述的隔離裝置中的空氣潔凈度等級。

      本文件適用于粒徑擋下限為0.1 μm?5 μm的顆粒物累積計(jì)數(shù)分布及其粒子濃度的監(jiān)測。

      超細(xì)粒子（＜0.1μm）的濃度將在納米尺寸粒子空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定。在指定采樣點(diǎn)，規(guī)定使用光散射（離散式）空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)器（LSAPC）判定大粒子（〉5μm）的粒子濃度，用M描述符對其量化。

      本文件不適用于表征空氣懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性、生物活性或其他特性。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于 本文件。

      GB/T 25915.2-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測 （ISO 14644-2：2015,IDT）

      GB/T 25915.7 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第7部分：隔離裝置（凈化空氣臺、手套箱、隔離器和微 環(huán)境）（GB/T 25915.7—2020,ISO 14644-7：2004,IDT）

      GB/T 29024.4-2017 粒度分析單顆粒的光學(xué)測量方法第4部分：潔凈間光散射塵埃粒子計(jì) 數(shù)器（ISO 21501-4：2007,IDT）

3 術(shù)語和定義

      下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1 基本

3.1.1

      潔凈室 cleanroom

      空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間，其設(shè)計(jì)、建造到運(yùn)行均使進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子受控。

      注1：規(guī)定了按空氣懸浮粒子濃度劃分的級別。

      注2：也可對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進(jìn)行控制。

      注3：溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關(guān)的物理參數(shù)，也可按要求受控。

3.1.2

      潔凈區(qū) clean zone

      空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)濃度受控并分級的限定空間。其建造和運(yùn)行使進(jìn)入、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子受控。

      注1：空氣懸浮粒子濃度的級別已確定。

      注2：也可對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進(jìn)行控制。

      注3：潔凈區(qū)可以是限定于潔凈室內(nèi)的空間，也可用隔離裝置實(shí)現(xiàn)。隔離裝置既可設(shè)在潔凈室內(nèi)也可在潔凈室外。

      注4：溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關(guān)的物理參數(shù)，也可按要求受控。

3.1.3

      設(shè)施 installation

      連同所有相關(guān)構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、供給和公用設(shè)施的潔凈室或一個、多個潔凈區(qū)。

3.1.4

      分級 classification

      按技術(shù)要求評定潔凈室或潔凈區(qū)潔凈度水平的方法。

      注：潔凈度水平應(yīng)以IS。等級濃度來描述，它代表單位容積空氣內(nèi)最大允許粒子濃度。

3.2 空氣懸浮粒子

3.2.1

      粒子 particle

      具有規(guī)定物理邊界的微小物質(zhì)。

3.2.2

      粒徑 particle size

      給定粒徑測定儀測得的、與被測粒子響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蝮w直徑。

      注：光散射離散粒子計(jì)數(shù)儀給出的是光學(xué)等效直徑。

3.2.3

      粒子濃度 particle concentration

      單位體積空氣中粒子的個數(shù)。

3.2.4

      粒徑分布 particle size distribution

      以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數(shù)關(guān)系。

3.2.5

      大粒子 macroparticle

      當(dāng)量直徑大于5 μm的粒子。

3.2.6

      M 描述符 M descriptor

      實(shí)測或規(guī)定的每立方米空氣中大粒子濃度，其中的當(dāng)量粒徑與測量方法有關(guān)。

      注：M描述符可視作采樣點(diǎn)平均值的上限。不能用M描述符表示ISO潔凈度等級，但M描述符可以單獨(dú)引用或 與ISO潔凈度等級一起引用。

3.2.7

     單向流 unidirectional airflow

      通過潔凈室或潔凈區(qū)整個斷面，風(fēng)速穩(wěn)定且平行的受控氣流。

3.2.8

      非單向流 non-unidirectional airflow

      潔凈室或潔凈區(qū)的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室內(nèi)空氣混合的氣流分布。

3.3 占用狀態(tài)

3.3.1

      空態(tài) as-built

      潔凈室或潔凈區(qū)所有服務(wù)設(shè)施就位并運(yùn)行，但無設(shè)備、家具、材料和人員的狀態(tài)。

3.3.2

      靜態(tài) at-rest

      潔凈室或潔凈區(qū)建成且設(shè)備就位，按議定的方式運(yùn)行，但無人員在場的狀態(tài)。

3.3.3

      動態(tài) operational

      潔凈室或潔凈區(qū)設(shè)施按議定方式運(yùn)行，且有規(guī)定數(shù)量的人員按議定方式工作的狀態(tài)。

3.4 檢測儀器

3.4.1

      分辨率 resolution

      可被測量的最小變量，即在相應(yīng)顯示中產(chǎn)生的、可辨認(rèn)的變化。

      注：噪聲（內(nèi)、外部）或摩擦等因素可決定分辨率，被測的量值也可決定分辨率。

      [來源：ISO/IEC Guide 99：2007,4,14]

3.4.2

      最大允許測量誤差 maximum permissible measurement error

      對一項(xiàng)具體測量、或?qū)y量儀或測量系統(tǒng),相對于已知參照量值，技術(shù)條件或規(guī)范所允許的測量誤 差極值。

      注1：在有兩個極限值時，通常用術(shù)語“最大允許誤差”或“誤差限值”予以區(qū)分。

      注2： “公差”不可用于表示“最大允許誤差”.

      [來源：ISO/IEC Guide 99 ：2007,4.26]

3.5 儀器規(guī)格

3.5.1

      光散射（離散式）空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)器 light scattering （discrete） airborne particle counter； LSAPC

      依據(jù)粒子的光學(xué)等效直徑，對空氣中單個粒子進(jìn)行計(jì)數(shù)和測徑的儀器。

      注：GB/T 29024.4—2017 給出了 LSAPC 的規(guī)格。

3.5.2

      離散大粒子計(jì)數(shù)器 discrete-macroparticle counter

      能夠?qū)諝庵袉蝹€大粒子計(jì)數(shù)和測徑的儀器。

      注：其技術(shù)規(guī)格見附錄F中表F.1。

3.5.3

      飛行時間測徑儀 time-of-flight particle sizing apparatus

      以粒子適應(yīng)風(fēng)速變化的時間來測定其空氣動力學(xué)直徑的離散粒子計(jì)數(shù)、測徑裝置。

      注1：通常借助光學(xué)方法測量流體速度變化后粒子的移動時間。

      注2：其技術(shù)規(guī)格見表F.2。

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