1 范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了潔凈機(jī)器人的產(chǎn)品分類、性能、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法及標(biāo)志、使用說明書、包裝、運(yùn)輸及貯存等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于在潔凈室使用的，在大氣或真空環(huán)境中執(zhí)行搬運(yùn)等任務(wù)的潔凈機(jī)器人。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
GB/T 191 包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志
GB/T 4768 防霉包裝
GB/T 4857.23 包裝 運(yùn)輸包裝件基本試驗(yàn) 第23部分：隨機(jī)振動(dòng)試驗(yàn)方法
GB/T 4879 防銹包裝
GB/T 5048 防潮包裝
GB 5226.1-2008 機(jī)械電氣安全 機(jī)械電氣設(shè)備 第1部分：通用技術(shù)條件
GB/T 7932-2017 氣動(dòng) 對(duì)系統(tǒng)及其元件的一般規(guī)則和安全要求
GB/T 9969 工業(yè)產(chǎn)品使用說明書 總則
GB 11291.1-2011 工業(yè)環(huán)境用機(jī)器人 安全要求 第1部分：機(jī)器人
GB/T 12642-2013 工業(yè)機(jī)器人 性能規(guī)范及其試驗(yàn)方法
GB/T 13306 標(biāo)牌
GB/T 25915.1-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：空氣潔凈度等級(jí)
GB/T 32293-2015 真空技術(shù) 真空設(shè)備的檢漏方法選擇
JB/T 8896-1999 工業(yè)機(jī)器人 驗(yàn)收規(guī)則
3 術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。
3.1
工業(yè)機(jī)器人 industrial robot
自動(dòng)控制的、可重復(fù)編程、多用途的操作機(jī)，可對(duì)三個(gè)或三個(gè)以上軸進(jìn)行編程。在工業(yè)自動(dòng)化中使用。
注1：工業(yè)機(jī)器人包括：
——操作機(jī)，含制動(dòng)器；
——控制器，含示教盒和某些通信接口（硬件和軟件）。
注2：這包括某些集成的附加軸。
注3：它可以是固定式或移動(dòng)式。
注4：改寫GB/T 12643-2013，定義2.9。
3.2
潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。
注1：它的建造和使用能減少室內(nèi)滲入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力也會(huì)受控。
注2：改寫GB50073-2013，定義2.0.1。
3.3
真空 vacuum
用于描述低于大氣壓力或大氣質(zhì)量密度的稀薄氣體狀態(tài)或基于該狀態(tài)環(huán)境的通用術(shù)語。
［GB/T 3163-2007，定義2.3］
3.4
潔凈機(jī)器人 clean-room robot
在潔凈室（3.2）使用的，在電子器件制造、醫(yī)藥制造、食品制造等行業(yè)執(zhí)行搬運(yùn)等任務(wù)的工業(yè)機(jī)器人(3.1)。
注：可適用于大氣和真空環(huán)境。
3.5
大氣機(jī)器人 atmospheric robot
機(jī)器人整體或部分在大氣環(huán)境下使用的潔凈機(jī)器人（3.4）。
3.6
真空機(jī)器人 vacuum robot
機(jī)器人整體或部分在真空（3.3）環(huán)境下使用的潔凈機(jī)器人（3.4）。
3.7
潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。
［GB 50073-2013，定義2.0.12］
3.8
漏率 leak rates
在規(guī)定條件下，一種特定氣體通過漏孔的流量。
［GB/T 3163-2007，定義6.1.9］
4 產(chǎn)品分類
按使用環(huán)境分為：
a）大氣機(jī)器人；
b）真空機(jī)器人。
5 性能
潔凈機(jī)器人（以下簡稱機(jī)器人）的性能指標(biāo)參數(shù)，應(yīng)在產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定，包括下列各項(xiàng)：
a）各軸運(yùn)動(dòng)范圍；
b）最大單軸速度；
c) 位姿準(zhǔn)確度和重復(fù)性；
d）位置穩(wěn)定時(shí)間；
e）軌跡準(zhǔn)確度和重復(fù)性；
f）軌跡速度；
g) 靜態(tài)柔順性；
h）潔凈度；
i) 漏率。
6 技術(shù)要求
6.1 一般要求
機(jī)器人應(yīng)滿足以下一般要求：
a）機(jī)器人的潔凈設(shè)計(jì)應(yīng)滿足產(chǎn)品潔凈度要求；
b）機(jī)器人應(yīng)按規(guī)定程序批準(zhǔn)的設(shè)計(jì)圖樣和工藝文件進(jìn)行制造；
c）機(jī)器人部件質(zhì)量應(yīng)可靠，并符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
6.2 外觀和結(jié)構(gòu)
機(jī)器人外觀和結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足以下要求：
a）機(jī)器人表面色澤應(yīng)均勻一致，無劃痕等缺陷；表面各部分應(yīng)光滑，無毛刺、尖角、起泡；
b）金屬部件不應(yīng)有銹蝕及其他機(jī)械損傷；
c）文字、符合和標(biāo)志應(yīng)清晰、端正，各關(guān)節(jié)軸處應(yīng)標(biāo)明軸號(hào)及運(yùn)動(dòng)方向；
d）機(jī)器人結(jié)構(gòu)應(yīng)布局合理，操作方便，便于維護(hù)；
e）機(jī)器人部件質(zhì)量應(yīng)可靠，并符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
6.3 功能
機(jī)器人功能應(yīng)滿足以下要求：
a）機(jī)器人的開關(guān)、按鈕、顯示、報(bào)警及聯(lián)鎖裝置功能應(yīng)正常；
b）使用操作機(jī)操作機(jī)器人各軸運(yùn)動(dòng)應(yīng)平穩(wěn)、正常；
c）機(jī)器人各種運(yùn)行模式中，指令與動(dòng)作應(yīng)協(xié)調(diào)一致；
d）機(jī)器人碰撞保護(hù)功能應(yīng)正常。
6.4 氣動(dòng)系統(tǒng)
用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)的機(jī)器人夾持器，其氣動(dòng)系統(tǒng)應(yīng)符合GB/T 7932-2017的規(guī)定。
6.5 電氣系統(tǒng)
機(jī)器人電氣系統(tǒng)應(yīng)符合GB 5226.1-2008的規(guī)定。
6.6 安全
6.6.1 基本要求
機(jī)器人的安全應(yīng)符合GB 11291.1-2011的規(guī)定。針對(duì)潔凈應(yīng)用特點(diǎn)，且應(yīng)滿足以下工作要求：
a）機(jī)器人在應(yīng)用過程中不應(yīng)損壞應(yīng)用產(chǎn)品；
b）機(jī)器人在搬運(yùn)過程中物料（硅片、玻璃基板等）不應(yīng)發(fā)生掉落、滑動(dòng)；
c）機(jī)器人產(chǎn)生的空氣懸浮粒子濃度應(yīng)受控，不應(yīng)破壞應(yīng)用環(huán)境；
d）機(jī)器人在發(fā)生碰撞時(shí)應(yīng)能夠及時(shí)停機(jī)。
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