1 范圍

      本標(biāo)準(zhǔn)給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測(cè)要求、基本儀器配置和技術(shù)要求。

      本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測(cè)技術(shù)分析與應(yīng)用。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件.僅注日期的版本適用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 25915.1—2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 笫1部分:空氣潔凈度等級(jí)

3 術(shù)語(yǔ)和定義

      下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

3.1

      單向流 unidirectional airflow

      通過(guò)潔凈區(qū)整個(gè)斷面、風(fēng)速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。

      注：這種氣流可定向清除潔凈區(qū)的粒子。

3.2

      單向流 non-unidircctional airflow

      送入潔凈區(qū)的空氣以誘導(dǎo)方式與區(qū)內(nèi)空氣混合的一種氣流分布。

3.3

      離散粒子計(jì)數(shù)器 discrete-particle counter；DPC

      可顯示并記錄確定體積空氣中離散粒子數(shù)量和苴徑（可辨別粒徑）的儀器。

3.4

      測(cè)試氣溶膠 test aerosol

      具有已知并受控的粒徑分布及濃度的固體和（或）液體粒子的氣態(tài)懸浮物。

3.5

      氣溶膠發(fā)生器 aerosol generator

      能以加熱、液壓、氣動(dòng)、超聲波、靜電等方式生成濃度恒定、粒徑范圍適當(dāng)?shù)模ɡ纾?.05 μm?2 μm） 微粒物質(zhì)的器具。

3.6

      氣溶膠光度計(jì) aerosol photometer

      利用光散射原理、用前散射光腔測(cè)量空氣懸浮粒子質(zhì)量濃度的儀器。

3.7

      已裝過(guò)濾系統(tǒng) installed filter system

      已安裝在頂棚、側(cè)墻、裝置、風(fēng)管上的過(guò)濾系統(tǒng)。

3.8

      已裝過(guò)濾系統(tǒng)檢漏 installed filter system leakage test

      為確認(rèn)過(guò)濾器安裝良好，向設(shè)施內(nèi)無(wú)旁路滲漏，過(guò)濾器及其安裝框架均無(wú)缺陷和滲漏而進(jìn)行的檢測(cè)。

3.9

      掃描 scanning

      讓氣溶膠光度計(jì)或離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣口覆蓋面，以略右重疊的往復(fù)行程移過(guò)規(guī)定的檢測(cè)區(qū)來(lái)查找過(guò)濾器及其他部件滲漏的方法。

3.10 

     等動(dòng)力采樣 isokinetic sampling

      采樣口進(jìn)氣氣流的平均風(fēng)速與該位置上單向流的平均風(fēng)速相等的采樣條件。

3.11

      滲漏 leak

      過(guò)濾系統(tǒng)因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下風(fēng)向濃度超過(guò)預(yù)期值。

3.12

      泄漏 leak

      壓差檢測(cè)所發(fā)現(xiàn)闈護(hù)結(jié)構(gòu)的缺陷。

3.13

      自凈時(shí)間 cleanliness recovery characteristic

      潔凈室被污染后.凈化空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)始運(yùn)行到恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間。

3.14

      閾值粒徑 threshold size

      選定的最小粒徑以測(cè)量大于或等于該粒徑的粒子濃度。

4 檢測(cè)項(xiàng)目與相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域

      不同應(yīng)用領(lǐng)域的常規(guī)檢測(cè)項(xiàng)目見(jiàn)表1。

5 檢測(cè)技術(shù)要求

5.1 檢測(cè)條件

5.1.1 已裝過(guò)濾系統(tǒng)檢漏合格。（過(guò)濾器出廠前應(yīng)檢漏介格；已裝過(guò)濾系統(tǒng)檢漏可以作為單項(xiàng)列入檢測(cè)項(xiàng)口）（參見(jiàn)附錄C）。

5.1.2 凈化機(jī)組系統(tǒng)完成吹掃和調(diào)試、風(fēng)速、風(fēng)量及壓差符合設(shè)計(jì)要求。

5.2 技術(shù)準(zhǔn)備

5.2.1 熟悉設(shè)施的系統(tǒng)及其特點(diǎn)。

5.2.2 確定檢測(cè)項(xiàng)口（包括特定要求）。

5.2.3 確定相關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)（包括受控文件和新頒布的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)）。

5.2.4 確定檢測(cè)環(huán)境的占右狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）。

5.2.5 配備相關(guān)檢測(cè)儀器及輔料、配件。

5.2.6 準(zhǔn)備檢測(cè)相關(guān)文本（布點(diǎn)圖、空白表格等）。

5.3 檢測(cè)儀器受控

5.3.1 儀器儀表在標(biāo)定的有效期并能正常運(yùn)轉(zhuǎn),輔料在使用有效期。

5.3.2 儀表量程、靈敏度/分辨率、滿足檢測(cè)項(xiàng)目要求。

5.3.3 儀表準(zhǔn)確度/測(cè)量不確定度滿足檢測(cè)項(xiàng)目要求。

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