1 范圍
本文件給出了監(jiān)測(cè)粒徑限值不超過(guò)0.1 μm（100 nm）的“納米尺度”粒子濃度的技術(shù)要求。
本文件給出的監(jiān)測(cè)技術(shù)要求主要用于“動(dòng)態(tài)”。
注1：本文件提及的“納米尺度粒子”是指所有在1維上（納米片）、2維上（納米纖維）或3維上（納米粒子）具有納米尺度的納米物質(zhì)。
注2：請(qǐng)注意，潔凈室內(nèi)粒子的實(shí)際特性是由粒子的來(lái)源及其物理特性所決定的。
注3：本文件未考慮健康與安全事項(xiàng)。
2 規(guī)范性引用文件
本文件沒(méi)有規(guī)范性引用文件。
3 術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
ISO和IEC在以下網(wǎng)址維護(hù)用于標(biāo)準(zhǔn)化的術(shù)語(yǔ)數(shù)據(jù)庫(kù)：
IEC Electropedia：可從 htps：//www.electropedia.org/獲取；
ISO在線瀏覽平臺(tái)：可從https： //www.iso.org/obp獲取。
3.1 通用
3.1.1
潔凈室 cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控并分級(jí)的房間，其設(shè)計(jì)、建造到運(yùn)行均使進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子受控。
注1：規(guī)定了按空氣懸浮粒子濃度劃分的級(jí)別。
注2：也可對(duì)影響潔凈度等級(jí)的其他因素，如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度 等級(jí)的其他因素，如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進(jìn)行控制。
注3：溫度、濕度、壓力、振動(dòng)和靜電等相關(guān)的物理參數(shù)，也可按要求受控。
[來(lái)源：GB/T 25915.1—2021,3.1.1]
3.1.2
潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)濃度受控并分級(jí)的限定空間。其建造和運(yùn)行使進(jìn)入、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子受控。
注1：空氣懸浮粒子濃度的級(jí)別已確定。
注2：也可以對(duì)影響潔凈度等級(jí)的其他因素，如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級(jí)的其他因素，如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進(jìn)行控制。
注3：潔凈區(qū)可以是限定于潔凈室內(nèi)的空間，也可用隔離裝置實(shí)現(xiàn)。隔離裝置既可設(shè)在潔凈室內(nèi)也可在潔凈室外。
注4：溫度、濕度、壓力、振動(dòng)和靜電等相關(guān)的物理參數(shù)，也可按要求受控。
[來(lái)源：GB/T 25915.1—2021 ,3.1.2]
3.2 尺寸
3.2.1
納米尺度 nanoscale（nanometer scale）
尺寸范圍約在1 nm~100 nm。
注：在此尺寸范圍內(nèi)粒子的特性一般不是從較大尺寸的推導(dǎo)而得，但也并非絕對(duì)。
[來(lái)源：ISO/TS 800042:2015, 2.1]
3.2.2
分割粒徑 particle size cutoff
D50
計(jì)數(shù)效率為50%的粒徑。
注：計(jì)數(shù)效率解釋見(jiàn)附錄B。
3.3 空氣中的粒子
3.3.1
納米粒子 nanoparticle （nanometer particle）
所有外尺寸均為納米尺度（3.2.1）、最長(zhǎng)軸與最短軸沒(méi)有顯著差別的納米物體。
注：若納米物質(zhì)的最長(zhǎng)軸線與最短軸線差別顯著（一般大于3倍），傾向于使用術(shù)語(yǔ)納米棒或納米片，而不用納米粒子。
[來(lái)源：ISO/TS 800042：2015, 4.4]
3.3.2
粒徑分布 particle size distribution
以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數(shù)關(guān)系。
[來(lái)源：GB/T 25915.1—2021,3.2.4]
3.3.3
氣溶膠 aerosol
懸浮于氣體中的固體的或液體的粒子系統(tǒng)。
[來(lái)源：ISO 15900：2009,2.1]
3.4 占用狀態(tài)
3.4.1
動(dòng)態(tài) operational
潔凈室（3.1.1）或潔凈區(qū)（3.1.2）設(shè)施按議定方式運(yùn)行，且有規(guī)定數(shù)量的人員按議定方式工作的狀態(tài)。
[來(lái)源：GB/T 25915.1—2021,3.3.3]
3.5 測(cè)量?jī)x器
3.5.1
凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器 condensation particle counter ； CPC
測(cè)量氣溶膠（3.3.3）粒子數(shù)量濃度的儀器。
注1：探測(cè)的粒徑一般介于幾納米到幾百納米之間。
注2： CPC可與差分電遷移率分析儀（DEMC）一起使用的探測(cè)器。
注3：在某些情況下，凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器也可稱為凝結(jié)核計(jì)數(shù)器（condensation nucleus counter,CNC）。
[來(lái)源：ISO 15900:2009,2.5]
3.5.2
計(jì)數(shù)效率 counting efficiency
給定粒徑范圍內(nèi)讀出的粒子濃度與實(shí)際粒子濃度之比。
[來(lái)源：GB/T 25915.3—2010,3.6.5]
4 監(jiān)測(cè)
4.1 概述
就測(cè)量而言，唯一重要的粒子特性是其“當(dāng)量直徑”。
4.2 原理
需方規(guī)定的監(jiān)測(cè)限值和要求，是根據(jù)需方和供方的商定，按規(guī)定測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)試并提供測(cè)試結(jié)果與測(cè)試條件的文件來(lái)驗(yàn)證的。見(jiàn)GB/T 25915.2—2021中附錄A，它規(guī)定了以預(yù)期使用的風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估為依據(jù)的監(jiān)測(cè)計(jì)劃的要求。所獲得的數(shù)據(jù)提供了潔凈室與納米粒子濃度有關(guān)的性能的佐證。
4.3 方法
為監(jiān)測(cè)空氣中的納米尺度粒子，用CPC對(duì)空氣中納米尺度粒子計(jì)數(shù)最有效。使用CPC進(jìn)行監(jiān)測(cè) 的標(biāo)準(zhǔn)方法見(jiàn)附錄A。按納米尺度粒子監(jiān)測(cè)空氣潔凈度的方法，應(yīng)給出系統(tǒng)性的計(jì)劃、良好定義了的步驟、闡明評(píng)估如何實(shí)施。一般來(lái)說(shuō)，設(shè)施的告警值和行動(dòng)值依據(jù)的是風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估。如果供方和需方有要求，則可協(xié)商定立限值。
計(jì)數(shù)方法的標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容應(yīng)包括：
——待測(cè)的納米尺度粒徑；
——采樣和分析對(duì)時(shí)間的相關(guān)性；
——采樣量;
——采樣點(diǎn)位置；
——樣本數(shù)量；
——工藝/產(chǎn)品的關(guān)鍵性；
——潔凈區(qū)設(shè)計(jì)/平面圖。
至少與CPC測(cè)量具有可比性能的其他方法和儀器也可做出規(guī)定。如若沒(méi)有規(guī)定的或商定的其他替代方式，則使用此標(biāo)準(zhǔn)方法。
應(yīng)使用校準(zhǔn)過(guò)的儀器實(shí)施符合性驗(yàn)證測(cè)試。
5 檢測(cè)報(bào)告
每個(gè)潔凈區(qū)的檢測(cè)結(jié)果應(yīng)記錄下來(lái)并以綜合報(bào)告提交。數(shù)據(jù)總結(jié)要包括不良趨勢(shì)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的審核，運(yùn)行水平，與4.2規(guī)定的監(jiān)測(cè)計(jì)劃相符的調(diào)查要求。
檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包括如下內(nèi)容:
a）檢測(cè)機(jī)構(gòu)的名稱、地址和檢測(cè)日期；
b）本文件編號(hào)，如 GB/T 25915.12—2021 ；
以上為標(biāo)準(zhǔn)部分內(nèi)容，如需看標(biāo)準(zhǔn)全文，請(qǐng)到相關(guān)授權(quán)網(wǎng)站購(gòu)買標(biāo)準(zhǔn)正版。
